DIN SPEC 1994-2017
Испытание материалов для полупроводниковой технологии. Определение анионов в слабых кислотах
Статус: Дата введения в действие: 01.02.2017
Обозначение | DIN SPEC 1994-2017 |
---|---|
Заглавие на русском языке | Испытание материалов для полупроводниковой технологии. Определение анионов в слабых кислотах |
Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of anions in weak acids |
Дата опубликования | 01.02.2017 |
МКС | 29.045 |
Вид стандарта | ST |
Обозначение заменяемого(ых) | DIN SPEC 1994(2016-07) |
Язык оригинала | немецкий |
Количество страниц оригинала | 11 |
Перекрестные ссылки | DIN 32645(2008-11)* DIN EN ISO 10304-1(2009-07)* DIN ISO 3696(1991-06)* ISO 8466-1(1990-03)* |
Код цены | Preisgruppe 8 |