FD ISO/TR 22335-2008
Химический анализ поверхности. Профилирование глубины напыления. Измерение скорости напыления: метод сетчатой реплики с применением механического матричного профилометра
Статус: Дата введения в действие:
Обозначение | FD ISO/TR 22335-2008 |
---|---|
Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Профилирование глубины напыления. Измерение скорости напыления: метод сетчатой реплики с применением механического матричного профилометра |
Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurement of sputtering rate : mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer. |
МКС | 71.040.40 |