NF ISO 23812-2009
Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод калибровки глубины для кремния с помощью многослойных дельта-эталонных материалов
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | NF ISO 23812-2009 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод калибровки глубины для кремния с помощью многослойных дельта-эталонных материалов |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis - Secondary ion mass spectrometry - Method for depth calibration for silicon using multiple delta-layer reference materials. |
| МКС | 71.040.40 |