ISO 18114:2021
Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение коэффициентов относительной чувствительности по стандартным образцам с имплантированными ионами
Статус: Действует Дата введения в действие: 11.05.2021
| Обозначение | ISO 18114:2021 |
|---|---|
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение коэффициентов относительной чувствительности по стандартным образцам с имплантированными ионами |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis Secondary-ion mass spectrometry Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials |
| Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
| Обозначение заменяемого(ых) | ISO 18114:2003 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 6 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 2 |
| Дата опубликования | 11.05.2021 |
| Количество страниц оригинала | 12 |
| Код цены | A |